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电子半导体行业为什么要使用超纯水设备?

发布时间:火博体育app官网-08-11
    在电子半导体行业电子管的生产中,电子管阴极会涂覆碳酸盐。如果使用的水中混入杂质,就会影响电子的发射,进而影响电子管的放大性能及寿命,因此在电子半导体行业对用水的要求是很高的。在电器行业当中容易出现的危险就是漏电,工业上是少不了电器电容的,如果用水中含有了氯离子,电容器则会出现漏电的情况。所以在电子半导体行业需要使用超纯水设备来制取生产用水。

    在显像管和阴极射线管的生产中,荧光屏内壁采用喷涂或沉淀的方法涂上一层荧光材料。它是由锌或其他金属硫化物组成的荧光粉颗粒,与硅酸钾粘结而成。配置需要使用超纯水。铁含量在50ppb以上会使颜色变浅、变暗、闪光,并会产生气泡、条纹、漏光点等废品。

    在黑白显像管荧光屏生产的12道工序中,外壳清洗、沉淀、润湿、洗膜、管颈清洗5道工序均采用纯水,每只晶体管需要80公斤高纯水。液晶显示器的屏幕表面需要用纯水清洗并与纯水混合。如果纯水中含有金属离子、微生物、颗粒等杂质,液晶显示电路会出现故障,影响液晶显示器的质量,导致废品和次品

    在晶体管、集成电路生产中,纯水主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制,硅片氧化的水汽源,部分设备的冷却水,配制电镀液等。集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良,重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低,B、AL、Ga等会使N型半导体特性恶化,水中细菌高温碳化后的磷(约占灰分的20%~50%)会使P型硅片上的局部区域变化为N型硅而导致器件性能变坏。水中的颗粒(包括细菌)如吸附在硅片表面,就会引起电路短路或特性变差。

    以上可以看出电子半导体行业大多是需要用到超纯水设备的,设备制取的超纯水中不含这些杂质,微生物,金属离子等。电阻率可达18兆欧,纯度很高,所以可以满足这个行业的用水要求。